中微公司研發的等離子刻蝕設備已經進入客戶的5nm生產線

中微公司研發的等離子刻蝕設備已經進入客戶的5nm生產線

4月6日，中微公司董事長、總經理尹志堯透露，公司研發的等離子刻蝕設備已經進入客戶的5nm生產線。

其中，公司開發的12英寸高端刻蝕設備已運用在國際知名客戶最先進的生產線上并用于5納米、5納米以下器件中若干關鍵步驟的加工。

此外，公司MOCVD設備在行業領先客戶的生產線上大規模投入量產。

中微公司也在互動平臺上證實了這一說法，稱公司刻蝕設備確實進入了5納米生產線。

公司的刻蝕設備已應用于全球先進的7納米和5納米及其他先進的集成電路加工制造生產線及先進封裝生產線。

中微公司作為設備公司，向客戶提供可加工先進器件的設備，協助、配合客戶實現先進器件的開發和生產。

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