華卓精科獲8700萬的戰略投資 推動光刻機國產化

華卓精科獲8700萬的戰略投資 推動光刻機國產化

日前，集成電路裝備及關鍵零部件企業華卓精科獲得渾由渾璞投資、中國國際金融股份有限公司和紅星美凱龍控股集團共計8700萬的戰略投資。其中，渾璞投資的投資金額為6600萬元。

與此同時，華卓精科發布公告，公司收到北京市經濟和信息化委員會撥付的國家科技重大專項中央財政資金合計1.39億元。

華卓精科也是清華大學集成電路設備技術17年技術積累的產業化平臺，公司挾高精尖技術向下俯沖，在激光退火、硅片堆疊、掃描干涉光刻、平面光柵、高精密運動臺、靜電卡盤、隔振器等集成電路裝備和關鍵零部件領域處于國內領先水平。

光刻機被周光召先生譽為新時代“兩彈一星”般的“神器”和世界上最精密的儀器。而光刻機雙工件臺作為光刻機的兩大核心子系統，因要在最大加速度不小于30 m/s^2、最大速度不低于500m/s的工作狀態下，使運動誤差保持在2納米之內，也就是人頭發絲直徑的四萬分之一，可以想象為兩架時速1000公里/小時的飛機在任意時刻的飛行位置偏差不超過一個微米。如此極端的性能指標，使光刻機雙工件臺成為當之無愧的“精密機械之王”，其制造也成為世界級難題。

華卓精科肩負雙工件臺國產化這一世紀挑戰，承接清華大學2001年以來在“863計劃”光刻機工件臺方面的核心技術，已申請發明專利231項，其中已授權中國發明專利139項、授權國際發明專利23項。華卓精科于2014年聯合清華大學成功推出了中國第一臺滿足65納米光刻機需求的雙工件臺樣機，現在正在向28納米制程的浸沒式光刻機雙工件臺這一世界級技術高地發起沖鋒。

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