泛林集團(tuán)自維護(hù)設(shè)備創(chuàng)半導(dǎo)體行業(yè)工藝流程生產(chǎn)率新紀(jì)錄

泛林集團(tuán)自維護(hù)設(shè)備創(chuàng)半導(dǎo)體行業(yè)工藝流程生產(chǎn)率新紀(jì)錄

在當(dāng)今半導(dǎo)體工藝環(huán)境中，平均清洗間隔時(shí)間是限制刻蝕系統(tǒng)生產(chǎn)率提高的主要因素。為了保持穩(wěn)定的性能，通常需要每月、甚至每周清洗刻蝕工藝腔室，并更換被等離子體工藝腐蝕的部件。2019 年 4 月，泛林集團(tuán)與客戶攜手達(dá)成了一項(xiàng)宏偉目標(biāo)，實(shí)現(xiàn)設(shè)備在無(wú)需維護(hù)清洗的情況下連續(xù)運(yùn)行 365 天，創(chuàng)下里程碑式紀(jì)錄。

泛林集團(tuán)自維護(hù)設(shè)備創(chuàng)生產(chǎn)率新紀(jì)錄

通常，刻蝕工藝模塊需要定期維護(hù)并更換耗件。更換和清洗部件必須打開(kāi)腔室完成，在關(guān)閉腔室時(shí)需要重新驗(yàn)證腔室環(huán)境，既耗時(shí)又費(fèi)力，不但影響了產(chǎn)量，還需依靠復(fù)雜的調(diào)度安排。利用自維護(hù)解決方案，設(shè)備可自主決策需要更換部件的時(shí)間，且無(wú)需打開(kāi)腔室即可自動(dòng)更換，減少了設(shè)備的停機(jī)時(shí)間，提高了工廠的生產(chǎn)效率。

泛林集團(tuán)這一創(chuàng)新解決方案包括Kiyo?工藝模塊、采用真空傳輸可更換邊緣環(huán)的Corvus?R系統(tǒng)、擁有使用壽命更長(zhǎng)的腔室組件、以及經(jīng)過(guò)優(yōu)化的無(wú)晶圓自動(dòng)清洗技術(shù)。其中，實(shí)現(xiàn)這一空前生產(chǎn)率的關(guān)鍵在于Corvus R系統(tǒng)，它是業(yè)界首個(gè)可自動(dòng)更換耗件的系統(tǒng)。長(zhǎng)期以來(lái)，刻蝕工藝一直存在邊緣環(huán)腐蝕的問(wèn)題，需要頻繁打開(kāi)腔室更換部件。Corvus R無(wú)需打開(kāi)腔室，即可自動(dòng)更換新的邊緣環(huán)。

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